高光譜相機在薄膜厚度監(jiān)測上的應用

    在薄膜行業(yè)和涂層行業(yè)中，厚度是一個非常重要的質(zhì)量參數(shù)；厚度和均勻性嚴重影響著薄膜的性能，

所以必須非常精準的測量薄膜的厚度。而高光譜相機則可以很好的適用于該項應用。

在薄膜行業(yè)和涂層行業(yè)中，厚度是一個非常重要的質(zhì)量參數(shù)；厚度和均勻性嚴重影響著薄膜的性能，所以必須非常精準的測量薄膜的厚度。

目前，X射線技術(shù)和光譜學技術(shù)在薄膜厚度測量方面得到了廣泛的應用，不管是在臺式監(jiān)測系統(tǒng)中還是在線監(jiān)測系統(tǒng)中。

目前使用的一般是單點狀的探測器，而在線監(jiān)測系統(tǒng)一般都是把探測器安裝在一個橫向掃描的平臺上，

得到的是一個之字形的檢測點圖形而不是整個薄膜，因此只能監(jiān)測部分樣品的厚度。

一個行掃描（推掃式）高光譜相機就可以克服這個限制，它可以監(jiān)測整個的薄膜或者是涂層區(qū)域。在每條線掃描數(shù)據(jù)中，

光譜數(shù)據(jù)能覆蓋薄膜的整個寬度，并且有很高的空間分辨率。

高光譜相機檢測了4種高分子材料薄膜樣品的厚度，使用的是型號為Specim FX17(波長935-1700nm)高光譜相機。

薄膜樣品的標稱厚度為17，20，20和23um. 使用鏡面幾何的方法，并且仔細檢查干圖形。通過解析圖片上光譜位置及距離，就可以得到厚度值。